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顯而易見，哪里有準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠，準(zhǔn)分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風(fēng)，增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對流。

除了稀有氣體之外，淄博準(zhǔn)分子預(yù)混氣，準(zhǔn)分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準(zhǔn)分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進(jìn)行供應(yīng)，這些預(yù)混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對人體健康構(gòu)成威脅，準(zhǔn)分子預(yù)混氣價格多少，尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準(zhǔn)分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，這類型的氣體對人體的危害更為嚴(yán)重。

高純nai氣在儲存與運(yùn)輸過程中的注意問題如下：

1、運(yùn)輸?shù)淖⒁馐马?xiàng)：沒有腐蝕性，可以使用通用的材料。對液nai的話可以使用奧氏體不銹鋼。nai一般都可以用玻璃瓶或鋼瓶進(jìn)行貯裝。在貯運(yùn)的過程中應(yīng)該輕裝輕卸，不可以讓容器發(fā)生碰損問題。液nai的產(chǎn)量小，可以使用類似于小型液氮屏型的液氦容器進(jìn)行貯存和運(yùn)輸。在使用這一類容器的時候，其內(nèi)容的支撐一定要補(bǔ)強(qiáng)，以適應(yīng)液nai較大的密度。

2、儲存的注意事項(xiàng)：庫房要通風(fēng)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商，且環(huán)境要低溫干燥，輕裝輕卸。

準(zhǔn)分子激光器適用于曝光方面的應(yīng)用，如光掩膜版的制作、檢查和量測。重復(fù)率為1KHz時，激光器能穩(wěn)定發(fā)射輸出能量為16mJ的248nm激光（KrF型號）和6mJ的193nm激光（ArF型號）。它包括一個激光頭（激光頭安裝在一個適于潔凈室環(huán)境下使用的不銹鋼盒子里）和一套安裝在工業(yè)PC板單獨(dú)的電源系統(tǒng)。激光器由嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)組件構(gòu)成，可單側(cè)打開進(jìn)行激光頭維修，因此很容易與大多數(shù)工作站進(jìn)行組合使用。

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